真空电镀时产生掉膜的原因很多也很复杂。处理起来很棘手，可以考虑从以下几个方面排除：

1、表面清洁度

产品表面洁净度不够，可以考虑离子源清洗时氩气放大、时间长点。

2、清洗过程中的问题

镀前清洗不到位，或更换了清洗液。

3、工艺的问题

工艺参数是否有变动，在镀膜时间和电流上做适当调整。

4、靶材的问题

钛靶是否中毒，检查和更换。

5、真空腔是否漏气

进行一次捡漏。

6、产品表面氧化

氧化的原因很多，可以自行判断处理。